帶你了解GMP凈化車(chē)間關(guān)于生產(chǎn)芯片的操作
2020-06-04 來(lái)源： 點(diǎn)擊：1799
半導體GMP對凈化車(chē)間的要求很高，這是一種半導體無(wú)塵室，是為了滿(mǎn)足半導體制造工藝需求,GMP凈化車(chē)間對環(huán)境離子浮塵、溫度、濕度、振動(dòng)、靜電控制、AMC（氣態(tài)分子級污染物）控制等都有一定的要求.相對于其他工業(yè)的生產(chǎn)車(chē)間，集成電路制造GMP凈化車(chē)間有靜電控制嚴格、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。
1. 處理芯片時(shí)，必須戴上防靜電手套，用干凈的鑷子夾住芯片。 不要用手指或其他東西碰芯片。 如晶片受到接觸污染，必須先清洗干凈，才可再次使用:
（1）鑷子前端如有觸碰或掉落地面的話(huà)，必須清洗干凈方可使用，且不要用紙巾或布擦鑷子。
（2）清洗芯片之前，如果碰了手指、地面或其他非潔凈物體，必須重新清洗。
（3）把芯片放置于一個(gè)石英舟上，準備進(jìn)爐管時(shí)，若發(fā)現自己所用鑷子有污損現象或芯片技術(shù)上有顯眼由鑷子所引起的污染。
2.芯片必須被放置在盒中，其被存儲在所述蓋的一預定位置，因為它是不被暴露。
3.避免在芯片上談話(huà)，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)擴散爐前，請特別需要注意，防止出現上述動(dòng)作產(chǎn)生，若芯片上沾有大量纖維屑時(shí)，用氮氣槍噴除污物。
5. 如果芯片上覆蓋著(zhù)氧化層，在送到黃光室之前不要用鉆石刀切割做出刻記。
6.當GMP凈化車(chē)間操作，無(wú)論是否戴手套，洗手不能放進(jìn)水槽。
7.在GMP凈化生產(chǎn)車(chē)間進(jìn)行使用一些化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)，務(wù)必將導致芯片置放于鐵弗龍晶舟內，避免使用塑料盒。
8.安排在石英舟的芯片，芯片掉在地上，必須重新清洗手清理芯片芯片，然后進(jìn)入氧化爐。
9.請勿使用觸摸控制芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片進(jìn)行污染，必須重作清洗。
10.手套，廢紙等零碎的東西，請勿留置于操作臺，手套如果燒毀，撕毀或多種纖維質(zhì)的變化時(shí)必須更換。
11.非經(jīng)指示，絕不可開(kāi)啟GMP凈化車(chē)間內不熟悉的儀器及各種開(kāi)關(guān)閥控制鈕或把手。
12.溶液出現氣味怪怪的或不正常的顏色，聲音等，請通知相關(guān)人員。
13.總是使用凈化車(chē)間清潔筆和無(wú)塵本做筆記，一般紙張與鉛筆不得攜入。
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